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VTC-100PAX 真空旋转涂膜机

应用范围：VTC-100PAX 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAX 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了先进的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。该设备可储存6 组程序，每组程序包含9 个运行阶段。每段运行参数可独立设置，可使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及电机转子轴中心的气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上，此方式操作简便、样件取放自如，吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机，噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单，电机启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAX真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

产品型号：VTC-100PAX

设备尺寸：L270*W430*H400mm

重量：12kg

上架时间：2024-07-17

版本号：V1.0

A^-A⁺

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VTC-100PAX 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAX 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了先进的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。该设备可储存6 组程序，每组程序包含9 个运行阶段。每段运行参数可独立设置，可使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及电机转子轴中心的气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上，此方式操作简便、样件取放自如，吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机，噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单，电机启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAX真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

技术参数
供电接口	带保险电源插座：AC220V 50Hz 保险管规格为10A、φ5×20mm
总功率	≤150W(不含外接真空泵）
涂膜主机腔体（材质）	聚丙烯
载样盘（吸盘）	聚丙烯真空吸盘：1 寸（适用φ25 样片）、3 寸（适用φ76 样片）各一个
运行方式	可储存6 组程序，每组程序包含9 个运行阶段
涂膜转速	：500-12500rpm 有效
增减速率	每段增减速度设置范围：100—2000 rpm/s
涂膜时间	每段时间范围：0-999s
转速稳定性	±1%
控制方式	PCB 单片机按键控制LMC 液晶显示屏
尺寸	L270W430H400mm
重量	12kg
注：1.设备供电为国内标准AC220V 50Hz 供电，实际供电以产品后部标牌参数为准，此设备支持AC110V 50/60Hz 产品定制。 2.本设备控制程序及显示均为英文。

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