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GSL-1800X-ZF4 高真空蒸发镀膜仪

应用范围：GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

产品型号：GSL-1800X-ZF4

上架时间：2019-08-20

安装尺寸：650mm×1200mm×1600mm

重量：600Kg

A^-A⁺

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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

性能指标和基本配置
主要特点	● 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。 ● 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。 ● 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。 ● 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。 ● 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。 ● 样品台安装在腔体的顶部。 ● 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。 ● 可使用循环水冷机。
技术参数	● 输入：单相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW ● 输出：0-8V AC 可调，最大电流400A，最大功率8000W（包括真空泵） ● 真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理 ● 腔门：Φ200mm ● 观察窗：Φ95mm，采用专用密封圈密封 ● 真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s（标配GZK-103G分子泵） ● 真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后） ● 极限真空度：5.0×10-7torr （加热温度为100℃-150℃） ● 漏率：5.0×10-7Pa/s ● 样品台：Φ140mm ● 蒸发舟与样品台间距：260mm ● 冷却水需量：15L/min
产品尺寸	650mm×1200mm×1600mm；
产品重量	600kg
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内点击查看售后服务承诺书。

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