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GSL-1350-ISE 1350℃温控型插入式蒸发源

应用范围:GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪,适用于蒸发各种金属和有机材料,其最高温度可达1350℃。采用磁流体密封,可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰,可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀,用于通入气体对腔体进行清洗和排气,保证样品在蒸镀过程中不被氧化。

产品型号 :GSL-1350-ISE

上架时间 :2019-08-20

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪,适用于蒸发各种金属和有机材料,其最高温度可达1350℃。采用磁流体密封,可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰,可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀,用于通入气体对腔体进行清洗和排气,保证样品在蒸镀过程中不被氧化。

 性能指标和基本配置
结构 & 特点

● 此蒸镀系统升温可以手动和自动两种模式。手动模式可以快速加大电流,达到快速加热蒸发,但温控性较差。自动控制控温较准确。
● 采用钨线圈加热,氧化铝坩埚装料,其最高温度可达1350℃
● 精确控温,可设置30段升降温程序,控温精度可达+/- 1 ºC
● Φ6.35mm进气口,可向蒸镀腔体中通入气体
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电源

电压:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 单相, 500W

温控系统 & 加热源

● 最高工作温度: 1350ºC (<1hr)., 连续工作温度:1200℃
● 500WDC蒸发电源,最大电流30A
● 钨丝加热,S型热偶测温,氧化铝坩埚装样
● 温控系统可设置30段升降温程序,控温精度:+/- 1 ºC
● 建议升温速率< 30 ºC/min
● 若长期工作在800℃以上,必须用高温棉填满耐火保温层与坩埚之间的间隙。可减少钨丝加热元件的损耗。
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样品坩埚

● 配有0.7ml的氧化铝坩埚
● S型热电偶嵌在坩埚底部,用于精确测量加热温度

进气口

● 6.35进气口,用于向蒸镀腔体中通入气体
● 一个针阀安装在进气口后端,用于控制其气体流量

可选

可选购快接法兰,接口为KF50,可与Φ50mm炉管对接
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认证

1CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
点击查看售后服务承诺书。
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