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OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉系统

应用范围：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源，直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统，且设备性价比较为理想。

产品型号：

上架时间：2020-12-09

安装尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H

重量：160 kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源，直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统，且设备性价比较为理想。

性能指标和基本配置

设备名称

小型滑动PECVD管式炉系统—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶实验室审核）

产品特点

● 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
● 可通过炉体滑动达到快速升温和降温；
● 可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力；
● 可通过工艺调节来控制化学计量；
● 可沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

加热炉参数

● 最高温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃；
● PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；
● 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW；
● 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命

更多参数请联系科晶销售部

射频电源

● 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调（稳定性：±1%）	0-500W可调（稳定性：±1%）	0-100W可调（稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz（稳定性：±0.5%）	13.56 MHz（稳定性：±0.5%）	13.56 MHz（稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片

真空系统

● 采用TRP-12的双旋真空泵；
● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
● 真空度可达10-2Torr。

供气系统

● 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；
● 流量范围:

一路	0-100 sccm
二路	0-200 sccm
三路	0-200 sccm
四路	0-500 sccm

● 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
● 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；
● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸和重量

● 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H
● 净重：160 kg
● 运输重量：220 kg

认证

● CE认证
● 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证
● 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

承诺

● 一年质保期，终身维护
● 特别提示：（1）耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内；
（2）因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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