实验设备

● 采用计算机进行控制，允许自行编制程序，进行切割。
● 主轴采用3000转大扭矩交流无刷电机，通过控制调速旋钮，使速度在300rpm-3000rpm内可调。
● 旋转台可进行手动或自动控制进行水平360°旋转，转动公差±0.01°，操作简单方便。
● 配有8英寸的精密真空吸盘，划片晶圆直径可达200mm。切割时使用Ø220mm载物盘，切割行程可达200mm×200mm。
● 可根据材料的尺寸选用适合的锯片和夹锯垫。

● 电源电压：220V
● 主轴驱动功率：180W
● 主轴转速：0-3000rpm
● X轴行程：200mm
● Y轴行程：200mm
● Z轴行程：55mm
● 步进电机分辨率：0.0025mm
● 步进电机定位精度：0.01mm
● 可加工划片最大深度：1.3mm
● 可切割最大深度：10mm（局部可达30mm）
● 工作台旋转：360°±0.01°
● 玻璃载物盘：Ø220mm
● 真空吸盘： Ø200mm（8"）
● 锯片：划锯片Ø86mm×Ø70mm、切割片Ø100mm×Ø12.7mm、Ø150mm×Ø12.7mm

55kg

1

全烧结金刚石锯片（Ø100mm×Ø12.7mm×0.33mm）

电镀金刚石锯片（Ø100mm×Ø12.7mm×0.4mm）

烧结金刚石划锯片（Ø86mm×Ø70mm×0.15mm）

石蜡棒

● 全烧结金刚石锯片Ø100mm×Ø12.7mm×0.35mm、Ø76mm×Ø12.7mm×0.23mm
● 边缘烧结金刚石锯片Ø100mm×Ø12.7mm×0.4mm、Ø150mm×Ø12.7mm×0.5mm
● 烧结金刚石划锯片Ø86mm×Ø70mm×0.15mm
● 无油真空泵
● 划锯片夹锯垫
● MTI系列加热平台

● 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
● 水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及排水
● 电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
● 气：无
● 工作台：尺寸800mm×600mm×700mm，承重50kgs以上
● 通风装置：需要