应用范围:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
产品型号 :OTF-1200X-80-I-F3LV
上架时间 :2019-07-01
安装尺寸:炉体: 550 x 380 x 520mm
混气系统: 600x600x597 mm
重量 :约60kg
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
性能指标和基本配置 | |
---|---|
高温炉壳体 |
● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃ |
功率 |
2.5 KW |
电压 |
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
最高工作温度 |
1200℃ |
连续工作温度 |
1100℃ |
最快升温速率 |
≤20 ℃ |
炉管材质和尺寸 |
石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加热元件 | 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命) |
加热区长度 | 400 mm |
控温系统 | PID30段程序化控温 |
控温精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系统 | |
真空泵 |
● 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。 |
防腐型真空计 |
● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍) |
混气系统 |
● 三个浮子流量计 |
产品净重 |
约60kg |
运输重量 |
200kg |
外形尺寸 |
● 炉体:550 x 380 x 520mm |
开门断电 | |
应用注意事项 |
●炉管内气压不可高于0.02MPa |
质量认证 | |
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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